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MKS質量流量控制器產品概述：
①電容壓力計是可以測量壓力和真空度的機電式壓力計。電容表將薄膜中的壓力調制運動轉換成與壓力成比例的電信號。壓力傳感器是薄的隔膜，通過入口管暴露在壓力或真空下。電極安裝在隔膜后面的參考腔中。過程與參考腔之間的壓力差會使隔膜稍微偏斜，從而改變了隔膜與電極之間的距離。該距離的變化會在隔膜和電極之間產生電容變化，從而產生與壓力變化成比例的電信號。
②AA07A/AA08A傳感器非常適合用于將超純氣體供入關鍵過程系統的輸送系統。它們暴露在氣流中的濕表面的表面光潔度比Ra好5µin。這些換能器具有出色的干燥特性，并且在背景以上沒有顆粒。在制造和組裝后，將它們用超凈氮氣吹掃，然后在100級環(huán)境中進行兩次裝袋。
③AA07A/AA08A中的傳感器采用全Incoloy®結構，可實現較高的過壓容限，從而減少了由于管路壓力峰值而引起的誤差。高爆破壓力等級有助于整體系統安全。在現有的氣柜和處理系統上，由于體積小，行業(yè)標準的端到端長度以及這些傳感器的電氣接口選擇，使得更換普通百分表或性能較低的傳感器變得容易。